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真空系統和高真空系統內獲得低真空范圍說明
 作者 Admin 瀏覽 發布時間 2016-03-16
真空應用設備種類繁多,但無論何種真空應用設備都有一套排除被抽容器內氣體的抽氣系統,以便在真空容器內獲得所需要的真空條件。舉例來說:一個真空處理用的容器,用管道和閥門將它與真空泵連接起來,當真空泵對容器進行抽空時,容器上要有真空測量裝置,這就構成了一個簡單的真空抽氣系統。 簡單的真空系統只能在被抽容器內獲得低真空范圍內的真空度,當需要獲得高真空范圍內的真空度時,通常在真空系統中串聯一個高真空泵。當串聯一個高真空泵之后,通常要在高真空泵的入口和出口分別加上閥門,以便高真空泵能單獨保持真空。如果所串聯的高真空泵是一個油擴散泵,為了防止大量的油蒸氣返流進入被抽容器,通常在油擴散泵的入口加一個捕集器——水冷障板。根據要求,還可以在管路中加上除塵器、真空繼電器規頭、真空軟連接管道、真空泵入口放氣閥等等,這樣就構成了一個較完善的高真空系統。

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